Технологическое оборудование. Громков Н.В. - 7 стр.

 интегральных микросхем. Требования к монтажно-сборочному оборудованию. Типовые
 конструкции основных узлов монтажно-сборочного оборудования. Способы и средства
 контроля качества соединений в интегральных микросхемах. Пути и методы повышения
 производительности монтажно-сборочного оборудования.

 7.11. Автоматические поточные линии и автоматизированные технологические
 комплексы.

    Виды поточных линий. Структурная и конструктивная компоновка автоматических
 линий. Автоматизированные поточные линии для производства интегральных
 микросхем и

 полупроводниковых приборов.

 7.12. Промышленные роботы в производстве полупроводниковых приборов и ИМС.

     Области применения промышленных роботов. Характеристики и назначение
 основных систем промышленных роботов. Требования к роботам, предназначенным для
 применения в чистых помещениях. Заключение.

 8 Практические занятия

         Не предусмотрено

 9 Лабораторные занятия

 9.1. Изучение принципов работы, устройства и конструкции вакуумных насосов
 предварительной откачки– 4ч.

 9.2 Изучение принципов работы, устройства и конструкции вакуумных насосов
 высоковакуумной откачки–4ч.

 9.3. Расчет вакуумной системы и измерение скорости откачки вакуумных насосов –4ч.

 9.4. Методы и средства измерения и контроля вакуума. –4ч.

 9.5. Устройство и принцип работы контактной сварки при сборке ГИС – 4ч.

 10 Семинарские занятия

 Не предусмотрено.
11 Курсовая работа

Не предусмотрено.
12 Методическая литература

12.1.    Головяшкин А.Н., Громков Н.В., Рябов П.В. Вакуумное             оборудование.
        Методические указания по лабораторным работам. Пенз. ГУ, 2000.
12.2 Громков Н.В. Технологическое оборудование. Конспект лекций (электронная
     версия). Пенз. ГУ, 2000