Технологическое оборудование. Громков Н.В. - 4 стр.

                                          РПД МЭ ДС.06 - 2005


                Контроль                        6 семестр
      текущий на занятиях                           √




      сдача зачета
                                                    √

         4 Цель и задачи дисциплины
        4.1 Цель преподавания дисциплины состоит в освоении студентами физических
процессов, происходящих в вакууме, определяющих работу и конструкции вакуумных
насосов и вакуумных систем, изучении основных стадий производства
полупроводниковых      приборов     и   интегральных    микросхем,    классификации
соответствующего оборудования и требований к нему, получение навыков практической
работы на технологическом оборудовании, ориентироваться в многообразии
оборудования и выборе его с учетом технологических и экономических факторов с учетом
экологических и гигиенических требований.
         4.2 В результате изучения дисциплины студент должен:
знать
− физическую сущность явлений, происходящих в вакууме;
− классификацию современного оборудования и области его применения;
− основные характеристики и свойства технологического оборудования ;
− тенденции развития технологического оборудования
уметь
− произвести сравнительный анализ технологического оборудования ;
− составить необходимый перечень оборудования для конкретного технологического
   цикла с учетом технико–экономических показателей и технологичности;
иметь навыки применения теоретических знаний для решения практических задач,
   связанных с использованием технологического оборудования.
         5 Место дисциплины в учебном процессе

        Данная дисциплина является одной из ключевых в блоке дисциплин
 общепрофессиональной подготовки. При её изучении используются знания, полученные
 студентами в курсах «Физика», «Химия», «Материалы и элементы электронной
 техники», «Вакуумная и плазменная электроника», «Твердотельная электроника». К
 моменту изучения дисциплины студенты должны знать основные сведения о строении
 атома, о материалах и элементах электронной техники,     периодическую систему
 Менделеева, типы связей в твердых телах, основы молекулярной физики и
 термодинамики, законы диффузии, внутреннего трения, основные понятия и законы
 теории электромагнитного поля, физику процессов в твердых телах и в
 полупроводниках.

        Основные положения дисциплины должны быть использованы в дальнейшем
 при изучении специальных дисциплин