Составители:
68
ры выше 550 °С, а затем резко охладить (закалить), то изменяется
тип электропроводности. Аналогичная термообработка германия
р$типа приводит к снижению удельного сопротивления без изме$
нения типа электропроводности. Отжиг закаленных образцов при
температуре 500...550 °С восстанавливает не только тип электро$
проводности, но и первоначальное удельное сопротивление.
Германий применяется для изготовления диодов различных ти$
пов, транзисторов, датчиков ЭДС Холла, тензодатчиков. Оптичес$
кие свойства германия позволяют его использовать для изготовле$
ния фотодиодов и фототранзисторов, модуляторов света, оптичес$
ких фильтров, а также счетчиков ядерных частиц. Рабочий диапа$
зон температур германиевых приборов от –60 до +70 °С.
Кремний является одним из самых распространенных элементов
в земной коре; его содержание в ней примерно 29%. Однако в свобод$
ном состоянии в природе он не встречается, а имеется только в соеди$
нениях в виде оксида и в солях кремниевых кислот. Чистота природ$
ного оксида кремния в виде монокристаллов кварца иногда достига$
ет 99,9%.
Технический кремний содержит примерно 1% примесей, и как
полупроводник использован быть не может. Он является исходным
сырьем для производства кремния полупроводниковой чистоты, со$
держание примесей в котором должно быть менее 10
–6
%.
Технология получения кремния полупроводниковой чистоты
включает в себя следующие операции: превращение технического
кремния в легколетучее соединение, которое после очистки может
быть легко восстановлено; очистка соединения физическими и хи$
мическими методами; восстановление соединения с выделением чис$
того кремния; конечная очистка кремния методом бестигельной зон$
ной плавки; выращивание монокристаллов.
Объемные кристаллы кремния получают
методами выращивания из расплава и бес$
тигельной вертикальной зонной плавки,
схема которой приведена на рис. 33.
В этом методе узкая расплавленная зона
2 удерживается между твердыми частями
слитка (1 – монокристаллическая; 4 – по$
ликристаллическая часть), благодаря силам
поверхностного натяжения. Расплавление
слитка осуществляется с помощью высоко$
частотного индуктора 3; процесс происходит
в вакууме или в атмосфере защитной среды.
Рис. 33
1
2
3
4
v
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 66
- 67
- 68
- 69
- 70
- …
- следующая ›
- последняя »
