Физические основы микроэлектроники. Попов В.Ф. - 59 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

Рис. 59 Зависимость скорости поверхностной рекомбинации от поверхностного изгиба зон
числа поверхностных рекомбинационных центров, способных резко увеличить скорость поверхностной рекомбинации. При
травлении такой поверхности нарушенный слой удаляется, и скорость поверхностной рекомбинации, как правило, падает.
При одновременном протекании в образце объемной и поверхностной рекомбинаций эффективное время жизни
неравновесных носителей
эф
τ
зависит от времени жизни в объеме
об
τ
и скорости поверхностной рекомбинации s. Как
показывает расчет, для тонких (по сравнению с длиной диффузии) образцов полупроводника эффективное время жизни
неравновесных носителей равно
ds ///211
обэф
+
τ
=
τ
, (10.24)
где d – толщина образца.
11 ПЕРЕНОС НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ
При рассмотрении этого вопроса возможны два случая:
а) пленка тонкая (рис. 60).
Предположим, что из точки 0 внутри телесного угла
0
ϕ
=
ϕ
распространяются электроны на расстояние
λ
=
х , где
λ
–
длина свободного пробега электрона (рис. 60).
Если толщина пленки
d много меньше длины свободного пробега )(
λ
<
<
λ
d , то электроны рассеиваются на
поверхности пленки, удельное сопротивление
ρ
увеличивается, так как появляются дополнительные механизмы
рассеивания (например, за счет взаимодействия электронов с колеблющимися ионами кристаллической решетки).
б) более толстая пленка (рис. 61).
В более толстых пленках учитываются все механизмы рассеяния.
Пусть
z – переменное расстояние от центра рассеяния до поверхности 1. В точке 0 начинается движение n штук
электронов.
Если телесный угол φ меньше некоторого угла
0
ϕ
, то все электроны распространяются на расстояние λ, если
0
ϕ
<
ϕ
, то
λ<x .
Рис. 60 Перенос носителей зарядов в тонких пленках
Рис. 61 Перенос носителей зарядов в толстых пленках
Очевидно телесный угол
ϕϕ
π
=ϕ dsin2 .
Из геометрических соображений:
ϕ
=
χ
cosd ;
A
d
=ϕ
0
cos .
Обозначим:
1
l – путь, пройденный электронами, не претерпевшими столкновения с поверхностями
∫
π
ϕ
ϕϕλ=
2
1
1
0
dl sin ;

Страницы