ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
 25
Литература.
1.Дель  Ока   С.  Анодные   окисные   пленки /  С.  Дель  Ока ,  Физика   тонких 
плёнок. –М .,  1973. - Т.6. С. 
2. Юнг Л. Анодные   оксидные   пленки / Л. Юнг. - Л.,1967. –  С. 42-59 
СОДЕРЖАНИЕ 
Лабораторная работа   № 1.  Приготовление образцов методом 
вакуумного   распыления …………………………………………............…….2 
Лабораторная работа   № 2.  Приготовление образцов методом ионного  
травления   …………………………………………............…………………...7 
Лабораторная работа   № 3. Исследование структуры плёнок методом 
дифракции электронов …………………………………………………….…..9  
Лабораторная работа   № 4. Изучение процессов анодного   окисления 
металлов ………………………………………………………………………19 
Составители :   Попова  Ирина  Александровна, Чернышёв Вадим         
Викторович, Перин Юрий Николаевич 
Редактор Бунина  Т.Д. 
                                                25
     Л итература.
1.Де ль Ока С. Ано дные о ки сные пле нки / С. Де ль Ока , Ф и зи ка то нки х
плёно к. – М ., 1973. - Т.6. С.
2. Ю нг Л. Ано дные о кси дные пле нки / Л. Ю нг. - Л.,1967. – С. 42-59
     С ОД Е Р Ж А Н И Е
      Ла б о р а то р на я р а б о та № 1. П р и го то вле ни е о б р а зцо в ме то до м
ва куумно го р а спыле ни я … … … … … … … … … … … … … … … … ............… … .2
      Ла б о р а то р на я р а б о та № 2. П р и го то вле ни е о б р а зцо в ме то до м и о нно го
тр а вле ни я … … … … … … … … … … … … … … … … ............… … … … … … … ...7
      Ла б о р а то р на я р а б о та № 3. И ссле до ва ни е стр уктур ыплёно к ме то до м
ди фр а кци и эле ктр о но в … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .… ..9
      Ла б о р а то р на я р а б о та № 4. И зуче ни е пр о це ссо в а но дно го о ки сле ни я
ме та лло в … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 19
     Со ста ви те ли : П о по ва И р и на Але кса ндр о вна , Че р ныш ёв В а ди м
             В и кто р о ви ч, П е р и н Ю р и й Ни ко ла е ви ч
     Ре да кто р Буни на Т.Д.
