Проектирование гибридно-пленочных интегральных микросхем. Романова М.П. - 35 стр.

UptoLike

Составители: 

35
4. РАСЧЕТ ТОЧНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ
Схемное назначение некоторых резисторов требует высокой точности их
изготовления, превосходящей технологические возможности современного
оборудования для напыления микросхем. В таких случаях при
конструировании микросхем применяют специальные пленочные резисторы,
сопротивление которых можно изменять после изготовления. Подгонка
величины сопротивления может производиться либо скачками путем
удаления заранее предусмотренных шунтирующих перемычек из проводящей
или резистивной пленки, либо плавно путем постепенного удаления части
резистивной пленки. В обоих случаях изменить сопротивление можно лишь в
сторону его увеличения.
В настоящее время известны различные способы подгонки сопротивления
пленочных резисторов: лучом лазера, иглой микроманипулятора,
электрической искрой.
Некоторые конструкции подгоняемых тонкопленочных резисторов
приведены на рис. 4.1. Наибольшее распространение получили конструктивные
формы, изображенные на рис. 4.1, а, в и г.
Рис. 4.1. Конструкции подгоняемых тонкопленочных резисторов