Проектирование гибридно-пленочных интегральных микросхем. Романова М.П. - 56 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

57
6. ПЛЕНОЧНЫЕ ИНДУКТИВНОСТИ
Изготовление катушек индуктивности для гибридных пленочных микросхем
представляет большие трудности. Наибольшее распространение в мегагерцо-
вом диапазоне частот получили плоские спиральные катушки (рис. 6.1). Огра-
ниченные размеры подложек пленочных микросхем и конечная ширина прово-
дящей полоски не позволяют изготовить плоские однослойные пленочные ка-
тушки с индуктивностью более 5–7 мкГн. Это означает, что наиболее реальным
является изготовление микросхем с колебательными контурами, резонансная
частота которых соответствует нескольким десяткам мегагерц.
Методы увеличения индуктивности плоских спиральных катушек, основан-
ные на нанесении ферритовых пленок, позволяют увеличить индуктивность ка-
тушек лишь на 10–40 %, но значительно усложняют технологический процесс
их изготовления.
Различные схемные эквиваленты индуктивности, в которых используются
активные элементы, пока не нашли широкого применения из–за зависимости их
параметров от частоты и температуры.
6.1. Исходные данные для расчета
Исходными данными для расчета являются параметры:
- величина индуктивности – L;
- величина добротности – Q;
- рабочая частота – f ;
- ориентировочный размер подложки.
По ним выбираются:
- форма катушки, ее внутренний диаметр D
вн
, который зависит от размеров
внутренней контактной площадки и, как правило, выбирается равным 0,5 мм;
- материал проводника катушки;
- материал подложки;
- способ изготовления катушки;
- способ получения фото оригинала.
В результате расчетов необходимо определить:
- шаг спирали – t;
- ширину витка – b;
- толщина витка – d;
- наружный размер спирали D
нар
определяемый из соотношения D
вн
/D
нар
=0,4
для круга, D
вн
/D
нар
= 0,362 для квадрата.
- число витков – N.
При проектировании пленочных катушек индуктивности нужно учитывать
следующие положения:
1. Главным фактором, определяющим индуктивность одно витковой петли яв-
ляется площадь, заключенная в плоскости петли.

Страницы