Проектирование и технология микросхем. Романова М.П. - 39 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

38
Из анализа параметров ди одо в мо жно заключить, что диод на основе транзистор-
ной структуры с замкнутым переходом база - коллектор предпочтительнее использо-
вать в циф ро вых ИМС, по скол ьку он обеспечивает наибольшее быстродействие. Диод
на основе перехода эмиттер - база пр и мен яют в цифровых схемах в качестве на-
копительного диод а. Диоды с замкнутым переходом база - эмиттер и
диоды на ос-
нове перехода база - ко лл ектор , имеющие наибольшие напряжения пр обо я, мо гут
быть ис по л ьзо ваны в кач естве ди одо в общего назначения.
1.7. Ориентировочный расчет топологических размеров дифф у зи онн ых
перемычек
Диффузионные перемычки (т.е. низкоомные резисторы), как было отмечено
ранее, реализуются при эмиттерной диффузии в n
+
- слое (рис. 1.10, б), по-
этому исходными параметрами для ориентировочного расчета будут парамет-
ры эмиттерного слоя p
Sn ep
= 2 Ом/а (табл. 1.1) и R
nep
≤ 1 Ом. Кроме то г о, пр и
эскизной прорисовке топологии известно, что по длине перемычки надо раз-
местить на ее изолированной поверхности в од н о м случае од ну проводящую
дорожку (ри с. 1.19, а), а в другом - две дорожки (рис. 1.19, б).
Поэтому ориентировочный расчет начинают с определения то пологической
длины перемычки из учета минимальной ширины проводящей дорожки, ко -
торая равна 4 мкм, минимального расстояния межд у проводниками а, которое
также равно 4 мкм.
Таким образом, если надо провести одну проводящую дорожку, то длина
перемычки l
пер
= 4 + 2 ·а = 4 + 2·4 = 12 мкм. Если надо провести две проводя-
щих дорожки, то l
пеp
= 2 · 4 +3·а = 8 +12 = 20 мкм. Далее определяют ко эф фи-
циент формы перемычки
Есл и l
пер
известна (для двух случаев - 12 мкм и 20 мкм соответственно), то
b
пер
легко определи ть, зная K
Ф
, т.е. b
пер
= l
пер
/ K
Ф
. Сл едов ател ьно,
b
пер
= 12 / 0,5 = 24 мкм (если нужно провести через перемычку од ну до ро жку ) и
b
пер
=
20/0,5 = 40 мкм (если надо провести через перемычку две проводящие
дорожки).
Форма ко н тактных окон перемычек выбирается аналогично форме, приве-
денной на ри с. 1.13, б.
Подобным образом проводится ориентировочный расчет для определения
топологических размеров перемычек с учетом развязки от пересечений и бо л ее
двух электропроводящих до ро ж ек.

Страницы