ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
44
6. СБОРКА И КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА МИКРОСХЕМ
6.1. Термокомпрессионная, контактная и ультразвуковая сварка
Внутренний монтаж ИС включает в себя операции по установке, закреплению
ИС в корпусе и выполнению внутренних электрических соединений. Внутренние
соединения контактных площадок осуществляются с выводами навесных элемен-
тов (в гибридных ИС) и с тонкими переходными выводами, идущими к наружным
выводам, выходящим из корпуса (рис. 6.1, а).
Для внутренних соединений характерно примерно стократное соотношение
толщин соединяемых металлических тел: проволочки диаметром 50 мкм и пленки
толщиной 0,5 мкм (рис. 6.1, б). Контактная площадка расположена на изоляцион-
ной или полупроводниковой подложке. Площадь контактной площадки составляет
доли мм
2
. Для выполнения таких соединений наиболее распространена термоком-
прессионная сварка.
Рис. 6.1 Микросхема внутри корпуса (а) и схематическое изображение контактного
переходного узла (б):
1
–
наружный вывод; 2
–
внутренний вывод (перемычка); 3
–
контактная площадка;
4
–
изолятор; 5
–
основание корпуса
Название термокомпрессионной сварки, предложенной в 1957 г., точно пере-
дает ее сущность: сварка давлением с подогревом. Она предполагает протекание
деформации в зоне соединения, вытесняющей адсорбированные газы и очень тон-
кие жировые и окисные пленки, в результате чего происходит «схватывание» сжа-
тых поверхностей. Области схватывания возникают на участках, где возможно
взаимодействие между свободными электронами атомов соединяемых тел и обра-
зование межатомной связи. Для этого необходимо преодоление энергетического
барьера повышением энергии атомов. Повышение энергии производят нагревом и
пластической деформацией. Чем выше температура, тем при меньших давлениях
начинается сцепление, так как облегчается разрушение окисных пленок. Твердость
ковкого металла проволочки существенно уменьшается, а твердость окисных пле-
нок с ростом температуры меняется мало. При нагреве в результате увеличения
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 42
- 43
- 44
- 45
- 46
- …
- следующая ›
- последняя »