Сборка и монтаж интегральных микросхем. Романова М.П. - 45 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

пластичности металла легче образуются большие поверхности соприкосновения и

снимаются разрушительные для шва внутренние механические напряжения.

При термокомпрессионном соединении металлы нагреты до температуры на-

чала рекристаллизации (отжига) t

(≈400°C) или несколько выше, но на 20° С ниже

самой низкой температуры эвтектики системы. При этой температуре сцепление

возникает при минимальной нагрузке сдавливания, если толщина окисной пленки

ничтожно мала. По мере утолщения окисной пленки нагрузка сдавливания должна

возрастать для разрушения и выдавливания осколков окисной пленки из зоны кон-

тактирования.

Термокомпрессионно свариваемые материалы классифицируют на три

группы:

а) металлы с хорошей взаимной диффузией в твердом состоянии и образую-

щие твердые растворы Au–Cu (обладают наилучшей свариваемостью);

б) материалы, образующие между собой низкотемпературные эвтектики

А1 – Si, Au – Si (обладают удовлетворительной свариваемостью);

в) металлы, взаимная диффузия которых приводит к образованию интерметал-

лических соединений и эвтектик Au–Al, Al–Sn (обладают удовлетворительной сва-

риваемостью лишь при выполнении определенных условий).

Рис. 6.2. Схема термокомпрессии с подогревом:

1 - рабочий инструмент;

2 - подогреватель рабочего инструмента; 3 - присоединительный проводник; 4 - подложка;

5 - подогреватель подложки, установленный на рабочем столике

При температурах выше t

наблюдаются процессы, зависящие от времени:

ползучесть, рекристаллизация, диффузия. Эти три процесса играют большую роль

в образовании термокомпрессионного соединения, поэтому продолжительность

сварки влияет на прочность соединения.