ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
17
ключая форвакуумного насоса и не отключая воду. После охлаждения диффу-
зионного насоса выключить форвакуумные насосы. Время охлаждения не ме-
нее 10 мин.
5. Впустить воздух под колпак, при положении переключателя вакуума на
атмосферу «А».
6. Выключить питание сети.
3.3 Содержание отчета
Отчет должен содержать:
1. Данные замеров низкого вакуума и график зависимости давления
от
времени откачки.
2. Данные замеров высокого давления и график зависимости давления от
времени откачки.
3. Блок-схему вакуумной установки и ее краткое описание.
3.4. Контрольные вопросы
1. Оценка вакуумных условий.
2. Низковакуумные вращательные насосы.
3. Пароструйные (паромасляные) насосы.
4. Тепловые манометры.
5. Ионизационные манометры.
6. Порядок включения вакуумной установки.
7.
Выключение вакуумной установки.
8. Электрическая схема вакуумной установки.
9. Схема откачной системы установки УВР-2 и УВР-3.
Рекомендованная литература
1. Королев, Б. И. Основы вакуумной техники / Б. И. Королев. – М. : изд.
«Энергия», 1964. – С. 53.
2. Коледов, Л. А. Технология и конструкции микросхем, микропроцес-
соров и микросборок / Л. А. Коледов. – СПб. : изд. «
Лань», 2008.
Дополнительная литература
1. Березин, А. С. Технология и конструирование микросхем / А. С. Бере-
зин, О. Р. Моголкина. − М. : «Радио и Связь», 1983.
2. Достанко А. П. Технология ИМС / А. П. Достанко. − М. : «Высшая
школа», 1982.
3. Мубанец, В. Д. Механические вакуумные насосы / В. Д. Муба-
нец, В. И
. Васильев и др. – М. : Машиностроение, 1980.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 15
- 16
- 17
- 18
- 19
- …
- следующая ›
- последняя »
