Техника получения и измерения вакуума. Романова М.П. - 18 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

18
Приложение 1
ТЕХНИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКИ УВР-2
1.1. Назначение
Универсальный вакуумный распылитель УВР-2, схема которого представ-
лена на рис. 1.1, предназначен для следующих работ:
а) термическое испарение веществ (металл, кварц и т. д.) на плоскую либо
цилиндрическую поверхность;
б) прокаливание керамических деталей;
в) катодное распыление металлов;
г) катодное травление металлов;
д) получение
угольных пленок в разряде бензола.
Катодное распыление и травление могут производиться в среде инертных
газов (аргон, неон и др.) или реактивных (кислород, азот).
1.2. Технические характеристики
Источники питания:
- электрическая сеть − переменный трехфазный ток напряжением 380/220
или 220/127 B, частотой 50 Гц;
- вода − напор 5 ÷ 4 атм., расход 0,4 м
3
/час;
- потребляемая мощность − не более 3,5 кВт.
Предельный вакуум:
- при охлаждении ловушки водой −1·10
-5
мм рт. ст.; при охлаждении ло-
вушки жидким азотом − 4·10
-6
мм рт. ст.
Время откачки объёма колокола:
от атмосферного давления до 1·10
-5
мм рт. ст. − не более 60 мин; от дав-
ления 1·10
-5
мм рт . ст. до 4·10
-6
мм рт.ст. − не более 60 мин.
Количество пар вводов для контроля параметров объектов во время прове-
дения работ – 2.
Количество клемм нагревателей – 5.
Максимальный ток нагревателей − 200 А (в теч. 20 мин.)
Максимальное высокое напряжение: постоянное − 18 кВ, переменное − 13 кВ.
Максимальный ток разряда − 50 мА.
Габаритные размеры − 890x800x1500 мм.
Вес распылителя
− не более 200 кг. Перемещение объекта при термиче-
ском испарении и катодном распылении (горизонтальное, вертикальное или
вращательное вокруг вертикальной оси) осуществляется с помощью привода
объектодержателей без нарушения вакуума.
1.3. Принцип работы
Принцип работы установки заключается в следующем: в откачной системе
с помощью форвакуумного и диффузионного насосов создается высокий ваку-
ум, в
котором распыление веществ производится под действием температуры
либо под действием тлеющего разряда (катодное распыление).

Страницы