Техника получения и измерения вакуума. Романова М.П. - 8 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

8
Работа вакуумного насоса характеризуется следующими параметрами:
предельным давлением, наибольшим выпускным или начальным давлением,
скоростью откачивающего действия.
Предельным давлением Р
0
насоса называется минимальное давление, кото-
рое может быть достигнуто во входном патрубке заглушенного насоса после
длительной работы в стационарном режиме.
Наибольшим выпускным давлением насоса называется давление у выпуск-
ного патрубка, при котором еще обеспечивается его нормальная работа.
Для большинства насосов – это давление, при котором может быть запущен насос.
Скоростью откачивающего действия
насоса называется объем газа, про-
ходящий через поперечное сечение патрубка в единицу времени. Эта величина
зависит от размеров рабочего пространства и режима работы насоса.
Производительностью насоса называется количество газа, удаляемого из
входного патрубка в единицу времени.
Переходя к рассмотрению вакуумной пленочной технологии, можно, в за-
висимости от соотношения между средней
длиной свободного пробега молекул
λ и расстоянием d между испарителем и подложкой, различать:
сверхвысокий вакуум Р
0
= 10
- 8
÷ 10
- 12
мм рт. ст.
высокий вакуум λ >> d, Р
0
= 10
-4
÷ 10
-7
мм рт. ст.
средний вакуум λ ≥ d, Р
0
= 10
-2
÷10
-4
мм рт. ст.
низкий вакуум λ < d, Р
0
= 760 ÷ 10
-2
мм рт. ст.
В вакуумной технике за единицу давления принимают 1 мм рт. ст.
В соответствии с международной системой единиц измерения (СИ) введе-
на новая единица давления, равная давлению силы в один ньютон на квадрат-
ный метр (Н/м
2
); 1 мм. рт. ст. = 133,3 Н/м
2
.
Напыление пленочных микросхем производится в вакуумной установке,
где с помощью вакуумных насосов создается и поддерживается высокий ваку-
ум в течение всего периода напыления элементов микросхемы. Насосы разде-
ляются на два основных класса: вращательные, создающие низкую степень раз-
ряжения газа до давления порядка 10
-3
мм рт. ст. (1,333*10
-1
Н/м
2
), и пароструй-
ные, создающие высокую степень разрежения газа порядка 10
-6
мм рт. ст.
(1,333*10
-4
Н/м
2
).
Вращательные насосы принято называть насосами предварительного раз-
ряжения или насосами низкого вакуума. Газ, откачиваемый этими насосами,
выбрасывается в атмосферу.
Пароструйные насосы могут работать только при условии создания для
них предварительного разряжения газа на входе порядка 0,1 ÷ 20 мм рт. ст., т. е.
13,33 ÷ 2666 Н/м
2
(зависит от типа насоса). Указанная степень разряжения соз-
дается вращательными насосами.

Страницы