Проектирование специализированных СБИС. Рындин Е.А. - 14 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

16
электронной эмиссии при температуре абсолютного нуля приближенно опре-
деляется выражением
j ≈ 1,54⋅10
6
(E
2
/ϕ) exp(-6,83⋅10
7
ϕ
3/2
/E), [А/см
2
], (27)
где E - напряженность электрического поля; ϕ -
работа выхода материала катода [4]. Влияние
температуры в пределах до 1000
0
С крайне не-
значительно. Однако, как можно видеть из со-
отношения (27), автоэмиссия сильно зависит от
работы выхода. Изменение последней на 0,5 эВ
приводит к изменению плотности тока эмиссии
примерно на два порядка.
Основные параметры электронных пушек
приведены в табл. 2 [4].
Наиболее важными рабочими параметрами
источников ионных пучков являются:
1) вид ионов;
2) ток пучка;
3) яркость источника;
4) разброс энергий ионов.
Анализ других менее важных параметров,
таких как эффективность ионизации, срок
службы, коэффициент преобразования энергии,
можно найти в специальной литературе [3-5].
К наиболее часто используемым относятся
три класса источников ионных пучков [3]:
1) с ионизацией электронным ударом;
2) полевые;
3) жидкометаллические.
Источники с ионизацией электронным
ударом используются в основном для ионной
имплантации и обработки материалов ионным
пучком. Такой тип ионизации характеризуется
передачей молекулам газа энергии от ускорен-
ных электронов. Используемые для ионизации электроны создаются термо-
электронной, автоэлектронной эмиссией или образуются в газовом разряде.
Электроны ускоряются при помощи электростатического или высокочастот-
ного поля и удерживаются в ограниченном объеме магнитным полем для уве-
личения пути ионизации.
Рис. 10. Конструкция элек-
тронной пушки с автоэмис-
сионным катодом
Рис. 9. Конструкция элек-
тронной пушки с термо -
эмиссионным катодом

Страницы