Проектирование специализированных СБИС. Рындин Е.А. - 15 стр.

UptoLike

Составители: 

17
Число ионов, попадающих на единицу площади в единицу времени n
+
,
образованных электронным током плотностью j, проходящим расстояние х
через газ при давлении р, определяется выражением
n
+
= (j - pхS
e
)/e, (28)
где S
e
- дифференциальный коэффициент ионизации, величина которого зави-
сит от энергии электрона и типа газа.
Таблица 2
Основные параметры электронных пушек
Наименование Тип электронной пушки
параметра с термоэмиссионным
катодом
с автоэмиссион-
ным катодом
Материал катода Вольфрам Гексаборид
лантана
Вольфрам
Температура,
0
С 2700 - 3000 1800 - 2000 комнатная
Яркость, Асм
-2
ср
-1
10
4
- 10
5
10
5
- 10
6
10
7
- 10
8
Разброс энергии, эВ ~2 ~2 ~0,4
Вакуум, Па
1,3310
-3
1,3310
-5
~1,3310
-7
На рис. 11 схематически представлен один
из источников ионных пучков данного типа. На
анод подается положительный потенциал по
отношению к катоду и антикатоду. При этом
потенциал изменяется как в радиальном, так и в
продольном направлении. Магнитное поле за-
ставляет электроны двигаться по спиральным
траекториям, удерживая их от попадания на
анод, представляющий собой полый цилиндр, и
тем самым увеличивая эффективность иониза-
ции. В результате ионизирующих столкновений,
плазма постоянно пополняется электронами и
ионами. Такой механизм может использоваться
для ионизации любого газа.
Источник ионов с дуговым разрядом называется плазмотроном. Он отли-
чается более высоким давлением газа (0,4 - 4 Па) и большим током электро-
нов. Дуговой разряд при напряжении в несколько сотен вольт поддерживается
между подогревным катодом и анодом. Эмиттированные катодом электроны
ускоряются электрическим полем и, проходя через газ, вызывают его иониза-
цию.
Рис. 11. Конструкция ис-
точника ионов с ионизацией
электронным ударом