Элементы и устройства оптоэлектроники. Самохвалов М.К. - 82 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 54. Типичная конструкция тонкоплёночного электролюминесцент-

ного конденсатора: М - электрод; Д - диэлектрическая плёнка; Л - люми-

несцентный слой; СП - стеклянная подложка.

Толщина пленок проводников составляет 0,1-0,2 мкм, диэлектрических пле-

нок - 0,2-0,5 мкм и пленок люминофора - 0,5-1,5 мкм. Кроме перечисленных

плёнок в состав электролюминесцентного конденсатора могут входить допол-

нительные слои, например, светопоглощающего контрастного материала. Кроме

того, каждый из функциональных слоёв может быть неоднородным, например,

состоять из нескольких плёнок. Прозрачным может быть и второй электрод, то-

гда контрастный слой помещается за пределами тонкоплёночной структуры и

может совмещаться по своим функциям с защитным покрытием. В качестве

подложки и одновременно первого диэлектрика может быть использована кера-

мическая пластина, тогда верхний электрод должен быть прозрачным.

В качестве люминесцентных слоёв обычно используют сульфид цинка, леги-

рованный марганцем или фторидами редкоземельных элементов. Перспектив-

ными люминофорами показали себя сульфиды стронция и кальция, легирован-

ные фторидами редкоземельных металлов. Все использованные люминофоры

являются широкозонными полупроводниками с высоким удельным сопротивле-

нием, легирующие примеси образуют центры свечения, мало воздействующие

на электрические свойства материалов люминофора. Кристаллическая структу-

ра люминесцентных плёнок зависит от их химического состава и условий полу-

чения. В большинстве случаев эти плёнки являются поликристаллическими со

столбчатой формой кристаллитов, продольные размеры которых порядка тол-

щины плёнки, а поперечные в зависимости от температуры подложки и после-

дующего отжига лежат в пределах от сотых до десятых долей микрометра.

В качестве подложек при получении структур используются пластины бес-

щелочного термостойкого стекла толщиной 2-3 мм с нанесенным слоем про-

зрачного электрода, для создания которого применяют сильно легированные

оксиды индия или олова, являющиеся вырожденными широкозонными полу-

проводниками. Для получения непрозрачных электродов используют алюми-

ний, индий, олово, тугоплавкие металлы. Иногда для увеличения проводимости

тонких протяженных электродов в матричных панелях поверх прозрачных элек-