Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 39 стр.

UptoLike

Составители: 

39
тов диэлектрических. С помощью АСМ можно исследовать силовые ха-
рактеристики поверхностных атомов объектов путем регистрации зависи-
мости силы взаимодействия от расстояния между зондом и объектом.
При исследовании легко разрушаемых объектов, например, биологиче-
ских, пространство между зондом и поверхностью заполняют специальной
жидкостью, что позволяет на порядок уменьшить силы взаимодействия.
Разновидностью атомно-силового
микроскопа является магнито-
силовой микроскоп (МСМ). В нем в качестве зонда используется намагни-
ченная проволока из железа, никеля или зерно ферромагнитного материа-
ла. МСМ применяется для исследования тонких пленок, композитных ма-
териалов и магнитных носителей информации. С его помощью можно ре-
гистрировать магнитные микрополя, создаваемые объектом и получить
изображение доменной
структуры. Разрешение различных магнито-
силовых микроскопов варьируется в диапазоне от нескольких единиц до
нескольких десятков нанометров.
Контрольные вопросы
1. Какие задачи решает электронная просвечивающая микроскопия?
2.
Какое разрешение у просвечивающих электронных микроскопов и от
чего оно зависит?
3.
Что такое режим микродифракции в просвечивающем электронном
микроскопе и какие задачи решаются в этом режиме?
4.
В чем суть растровой электронной микроскопии и какие задачи
можно решить с помощью растрового электронного микроскопа?
5.
Какие физические явления могут происходить при взаимодействии
ускоренных электронов с поверхностью объекта?
6.
Чем отличается режим вторичных электронов от режима отражен-
ных электронов и для решения каких задач предназначены эти ре-
жимы?
7.
Что такое режим индуцированного тока в растровом электронном
микроскопе и какие задачи решаются в этом режиме?
8.
Что такое режим микрорентгеноспектрального анализа и какие зада-
чи решаются в этом режиме?
9.
Что такое режим катодолюминесценции и какие задачи решаются в
этом режиме?
10.
Что такое режим потенциального контраста и какие задачи решают-
ся в этом режиме?
11.
В чем суть сканирующей туннельной микроскопии?
12.
Каким образом перемещается зонд в сканирующем туннельном
микроскопе?
13.
Как работает атомно-силовой микроскоп и какие задачи он решает?
14.
Чем отличаются контактный, бесконтактный и полуконтактный ре-
жимы измерений в атомно-силовом микроскопе?