Физические методы исследования. Семинарские занятия. Часть 1. Стариковская С.М. - 66 стр.

4.2   Методы измерения давлений.
Цель сегодняшнего семинара – обсудить различные методы из-
мерения низких давлений. Низкими будем называть давления,
не превышающие 1 атм. Как следует из прошлого семинара, по-
добный диапазон давлений подразделяют на низкий, средний,
высокий и сверхвысокий вакуум.
   Приборы для измерения полных давлений называют мано-
метрами, если речь идет о малых давлениях, употребляется так-
же термин вакууметры. По принципу действия манометры делят
на следующие классы:
 1. Жидкостные манометры, в которых разность давлений урав-
    новешивается давлением столба жидкости (U-образные ма-
    нометры);
 2. Компрессионные манометры, действие которых основано на
    изотермическом сжатии газа (манометры Мак-Леода);
 3. Деформационные манометры, в которых мерой давления
    служит величина деформации чувствительного элемента (силь-
    фона, мембраны и т.д.);
 4. Тепловые манометры, действие которых основано на зави-
    симости теплопроводности газа от давления (термопарные
    и манометры сопротивления);
 5. Ионизационные манометры, которые определяют давление
    по значению ионного тока (электроразрядные и электрон-
    ные ионизационные).
  Эти манометры охватывают всю область низких давлений, от
низкого до сверхвысокого вакуума (Рис.4.2)




 Рис. 4.2: Области действия приборов для измерения низких давлений.

  По принципам регистрации всю группу манометров разделя-
ют на манометры прямого и косвенного действия. Жидкостные,

                                         66