Физические методы исследования. Семинарские занятия. Часть 1. Стариковская С.М. - 64 стр.

велика по сравнению с тепловой скоростью молекул, и, следова-
тельно, велик обратный поток. Тяжелые молекулы удаляются
лучше. Сопоставление масс-спектров остаточного газа для диф-
фузионного и турбомолекулярного насосов показывают, что в
диффузионном гораздо богаче спектр тяжелых фракций, соот-
ветствующих продуктам разложения масла. В турбомолекуляр-
ном же насосе основным остаточным газом является водород.
При давлениях 10−6 Па и ниже на работу турбомолекулярно-
го насоса начинает оказывать влияние водород, выделяющийся
из стенок корпуса и перетекающий со стороны форвакуумной
полости насоса.
   Сорбционные насосы по принципу действия делятся на
  • адсорбционные;
  • геттерные и испарительные геттерные;
  • электродуговые сорбционные;
  • геттерно-ионные;
  • магнитные электроразрядные
   Адсорбционные насосы представляют собой адсорбент, поме-
щенный в сосуд с жидким азотом, чтобы равновесное давление
над поверхностью адсорбента было как можно ниже. В резуль-
тате физической адсорбции наиболее эффективно поглощаются
молекулы газа с диаметром, меньшим характерного диаметра
пор (0.5 нм). Как правило, все цеолиты плохо поглощают инерт-
ные газы и газы с низкой точкой кипения (H2 , He, Ne). Предель-
ное остаточное давление такого насоса зависит от адсорбцион-
ной емкости адсорбента. К недостаткам можно отнести исполь-
зование жидкого азота, требование периодической регенерации
и значительное время охлаждения.
   Геттерные и испарительные геттерные насосы работают на
эффекте хемосорбции, химических реакций и растворения газа
в материале геттера. Наиболее часто в геттерных насосах приме-
няют циркониево - алюминиевые сплавы, в испарительных гет-
терных используется титановая пленка, образующаяся при испа-
рении титана электронным пучком. Электродуговой сорбцион-
ный насос основан на образовании на корпусе насоса титановой
пленки вследствие электродугового разложения титана. Элек-
трическая дуга при этом зажигается между геттером (катодом)
и анодом. В геттерно-ионных насосах проводится дополнитель-
ная ионизация инертных газов для улучшения их удаления. Маг-
нитные электроразрядные насосы в качестве распылителя тита-
на используют электрический разряд в магнитном поле, что поз-
воляет одновременно эффективно убирать ионы инертных газов.
   Для работы сорбционных насосов любого типа необходимо
предварительное разрежение до 10−1 Па. Насосы требуют пери-
одической очистки от титановой пленки.

                                      64