Физические методы исследования. Семинарские занятия. Часть 1. Стариковская С.М. - 63 стр.

           Рис. 4.1: Области действия вакуумных насосов.

   Для расчета вакуумных систем и правильного выбора ваку-
умных насосов необходимо представлять себе особенности раз-
личных типов насосов.
   Механические насосы, или насосы объемного действия, отка-
чивают газ от атмосферного до 10−3 Торр. Их устройство доста-
точно просто. Вращающийся ротор периодически набирает газ
в полость всасывания через входной патрубок и выбрасывает
его в выходной патрубок. Масло обеспечивает смазку, частич-
ное охлаждение механизма насоса и вакуумное уплотнение.
   Струйные насосы делятся на
  • эжекторные, которые используют в области давлений от ат-
    мосферного до 10−1 Па;
  • бустерные (10 − 10−2 Па);
  • диффузионные (10−2 Па и ниже).
   Общая схема работы всех струйных насосов одинакова: рабо-
чая жидкость нагревается, испаряется и пар поднимается по па-
ропроводящей трубе в сопло. Из сопла пар с большой скоростью
истекает в пространство рабочей камеры. Пар конденсируется,
конденсат по сливной трубке возвращается в кипятильник, а газ,
сжатый струей, выбрасывается через выпускной патрубок. При
этом механизм захвата молекул откачиваемого газа может быть
как вязкостным (при высоких давлениях), так и диффузионным
(при низких).
   Турбонасосы представляют собой осевую многоступенчатую
роторно-статорную конструкцию, формирующую поток газа в
направлении с входа насоса на его выпуск. Лопатки пластин ро-
торов и статоров профилированы специальным образом (содер-
жат косые пазы под углом 450 к плоскости либо сами лопатки
наклонены под углом 450 ), так чтобы молекулы газа проходили
преимущественно в направлении откачки. Для быстрых моле-
кул скорость, сообщаемая роторно-статорной системой, не очень

                                        63