Вакуумная и плазменная электроника. Светцов В.И. - 1 стр.

UptoLike

Составители: 

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Ивановский государственный химико-технологический университет
В.И. Светцов
ВАКУУМНАЯ И ПЛАЗМЕННАЯ
ЭЛЕКТРОНИКА
Учебное пособие
Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико-
технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов
высших учебных заведений по специальности 251000 «Химическая
технология материалов и изделий электронной техники»
Иваново 2003
     МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ


     Ивановский государственный химико-технологический университет




                          В.И. Светцов

          ВАКУУМНАЯ И ПЛАЗМЕННАЯ
               ЭЛЕКТРОНИКА

                       Учебное пособие

    Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико-
технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов
высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая
технология материалов и изделий электронной техники»




                                Иваново 2003