ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
УДК 621.38
Вакуумная и плазменная электроника: Учеб. пособие / В. И. Светцов;
Иван. гос. хим.-технол. ун-т. Иваново, 2003. 172 с. ISBN 5-230-01605-1
Учебное пособие «Вакуумная и плазменная электроника» предназначено
для студентов специальности 251000 «Химическая технология монокристаллов,
материалов и изделий электронной техники», изучающих дисциплину
«Физическая электроника и электронные приборы» и студентов, обучающихся
по направлению 550700 «Электроника и микроэлектроника» при изучении
дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника».
Печатается по решению редакционно-издательского совета Ивановского
государственного химико-технологического университета.
Рецензенты:
кафедра электроники и микроэлектронных систем Ивановского
государственного энергетического университета;
кандидат химических наук С.С. Галактионов (Российский химико-
технологический университет им. Д.И. Менделеева).
Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико-
технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов
высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая
технология материалов и изделий электронной техники».
ISBN 5-230-01605-1
Ивановский государственный
химико-технологический
университет, 2003
УДК 621.38 Вакуумная и плазменная электроника: Учеб. пособие / В. И. Светцов; Иван. гос. хим.-технол. ун-т. Иваново, 2003. 172 с. ISBN 5-230-01605-1 Учебное пособие «Вакуумная и плазменная электроника» предназначено для студентов специальности 251000 «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники», изучающих дисциплину «Физическая электроника и электронные приборы» и студентов, обучающихся по направлению 550700 «Электроника и микроэлектроника» при изучении дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника». Печатается по решению редакционно-издательского совета Ивановского государственного химико-технологического университета. Рецензенты: кафедра электроники и микроэлектронных систем Ивановского государственного энергетического университета; кандидат химических наук С.С. Галактионов (Российский химико- технологический университет им. Д.И. Менделеева). Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико- технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая технология материалов и изделий электронной техники». ISBN 5-230-01605-1 Ивановский государственный химико-технологический университет, 2003