Вакуумная и плазменная электроника. Светцов В.И. - 152 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

152
В случае Драйвестейновского распределения энергий электронов коэффи-
циент скорости можно рассчитать по уравнению :
[ ]
−⋅⋅⋅
π
+⋅⋅⋅⋅⋅⋅=
−
)x(Ф1cE
2
eBaEa
д
2
m
e
K
0
x
A
4
3
4
3
2
0
где
( )
( )
A
E
E E
E
E E
a
e
E E
B
E
E E
c
E
E E
E
E E
m a
a
m a
m
m a
m a
m a
a
m a
=
−
+
−
=
⋅
−
=−
−
= +
−
+
−
2
2 2
2
2
1
;
;
σ
Фx e
t
x
()= ⋅
−
∫
2
2
2
2
0
π
- функция табулирована, таблицы имеются в математи-
ческих справочниках.
( )
x
E
E
E
E E
a
m a
0
2
2
=
⋅
+
−
Г - гамма-функция.
Данные, необходимые для проведения расчётов, приведены в справочном
разделе.
Порядок проведения расчётов
1. Вычислить зависимости скорости одного из процессов по указанию пре-
подавателя от давления газа и тока разряда.
2. Подобрать сечения процесса, проверить расчётным путём примени-
мость формулы Фабриканта для аналитического описания его зависимости от
энергии электронов.
3. Рассчитать коэффициенты скорости процесса в некотором интервале
средних энергий электронов (например, от 1 до 10 эВ с шагом 1 эВ) для рас-
пределений энергий электронов по Максвеллу и Драйвестейну.
4. С использованием полученных коэффициентов вычислить скорости
процесса в зависимости от давления газа и тока разряда для Максвелловского и
Драйвестейновского распределений энергий электронов.
5. Сравнить результаты, полученные при использовании таунсендовских
коэффициентов, а также функций распределения Максвелла и Драйвестейна,
по виду кривых и абсолютным значениям скоростей, дать качественные, физи-
чески обоснованное объяснение наблюдаемым эффектам. 
    В случае Драйвестейновского распределения энергий электронов коэффи-
циент скорости можно рассчитать по уравнению :
                 3
                                              π                        
             ⋅ 3 ⋅ a ⋅ E ⋅ a A ⋅ B ⋅ e − x 0 + ⋅ E ⋅ c ⋅ [1 − Ф( x 0 )]
          e 2 4
    K=
                                            2


          m д 4                               2                        
    где
             E2           Ea                    e⋅σm
    A=                +           ;       a=
        2( E m − E a ) E m − E a               Em − Ea


           E2                             E2                   Ea
    B= −         ;          c =1+                        +
         Em − Ea                    (E m − E a )     2
                                                             Em − Ea

                      t2
              2 x −2
     Ф(x) =      ⋅ ∫ e - функция табулирована, таблицы имеются в математи-
             2π 0
ческих справочниках.
           Ea           E
     x0 =          +
            2 ⋅ E 2( E m − E a )
    Г - гамма-функция.
    Данные, необходимые для проведения расчётов, приведены в справочном
разделе.
                         Порядок проведения расчётов
    1. Вычислить зависимости скорости одного из процессов по указанию пре-
подавателя от давления газа и тока разряда.
    2. Подобрать сечения процесса, проверить расчётным путём примени-
мость формулы Фабриканта для аналитического описания его зависимости от
энергии электронов.
    3. Рассчитать коэффициенты скорости процесса в некотором интервале
средних энергий электронов (например, от 1 до 10 эВ с шагом 1 эВ) для рас-
пределений энергий электронов по Максвеллу и Драйвестейну.
    4. С использованием полученных коэффициентов вычислить скорости
процесса в зависимости от давления газа и тока разряда для Максвелловского и
Драйвестейновского распределений энергий электронов.
    5. Сравнить результаты, полученные при использовании таунсендовских
коэффициентов, а также функций распределения Максвелла и Драйвестейна,
по виду кривых и абсолютным значениям скоростей, дать качественные, физи-
чески обоснованное объяснение наблюдаемым эффектам.




                                               152

Страницы