Вакуумная и плазменная электроника. Светцов В.И. - 50 стр.

UptoLike

Составители: 

50
Рис. 3.8. Магнитная линза:
1 - обмотка 2 - железный панцирь
Короткая магнитная линза позволяет получать увеличенные или
уменьшенные изображения, т.е. пригодна для использования в электронном
микроскопе. Короткая линза фокусирует и параллельный оси поток
электронов. Напряженность поля на оси короткой магнитной линзы может
быть найдена из выражения:
( )
2/3
22
2
ZR2
R2I
H
+
π
= (3.8)
R - средний радиус катушки; I - сила протекающего тока; z - расстояние
по оси катушки;
Фокусное расстояние магнитной линзы определяется соотношением:
22
N
I
RФ98
f
= (3.9)
Ф - энергия электронов; R - средний радиус катушки; I - сила тока; N -
число витков;
Кроме указанных выше, существуют цилиндрические электронные
линзы, в которых распределение потенциала не зависит от одной из
координат в декартовой системе (например, диафрагма с узким щелевидным
отверстием) и квадрупольные линзы, которые не обладают симметрией
вращения.
3.4. Аберрации электронных линз.
Также как и в геометрической, в электронной оптике наблюдаются
различные искажения изображения - аберрации. К ним относятся:
1. Геометрические аберрации - искажения изображения, связанные с
тем, что траектории большинства электронов в той или иной степени
непараксиальны.
2. Реальные пучки электронов немонокинетичны, т.е. имеет место
некоторый разброс по скоростям, который приводит к появлению так
называемых хроматических аберраций.
                          Рис. 3.8. Магнитная линза:
                     1 - обмотка 2 - железный панцирь

     Короткая магнитная линза позволяет получать увеличенные или
уменьшенные изображения, т.е. пригодна для использования в электронном
микроскопе. Короткая линза фокусирует и параллельный оси поток
электронов. Напряженность поля на оси короткой магнитной линзы может
быть найдена из выражения:
             I ⋅ 2πR 2
     H=                                                              (3.8)
          (      )
          2 R 2 + Z2
                       3/ 2


     R - средний радиус катушки; I - сила протекающего тока; z - расстояние
по оси катушки;
     Фокусное расстояние магнитной линзы определяется соотношением:
          98RФ
     f= 2                                                            (3.9)
         I ⋅ N2
     Ф - энергия электронов; R - средний радиус катушки; I - сила тока; N -
число витков;
     Кроме указанных выше, существуют цилиндрические электронные
линзы, в которых распределение потенциала не зависит от одной из
координат в декартовой системе (например, диафрагма с узким щелевидным
отверстием) и квадрупольные линзы, которые не обладают симметрией
вращения.

                     3.4. Аберрации электронных линз.

    Также как и в геометрической, в электронной оптике наблюдаются
различные искажения изображения - аберрации. К ним относятся:
    1. Геометрические аберрации - искажения изображения, связанные с
тем, что траектории большинства электронов в той или иной степени
непараксиальны.
    2. Реальные пучки электронов немонокинетичны, т.е. имеет место
некоторый разброс по скоростям, который приводит к появлению так
называемых хроматических аберраций.


                                    50