ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
39
легко разобраться в устройстве других. Внешний вид установки
СДО-125/4 показан на рис. П1.1. Она предназначена для
проведения диффузионных процессов на кремнии в диапазоне
температур от 500 до 1250
0
С, имеет четыре рабочих канала 2
(трубы из высокоглиноземистой керамики или кварца с
внутренним диаметром 70 мм) и состоит из двух частей
:
унифицированного основания 3 и четырех камер нагрева 1.
Основание служит для размещения четырехтрубной печи,
систем автоматического регулирования температуры и других
элементов. Каждая система включает регулятор 4 (РЕПИД-1),
силовой блок питания, компенсатор температуры холодного
спая термопары и другие элементы. Основание изготовлено из
стального профиля и с трех сторон закрыто съемными
декоративными панелями, имеющими жалюзи, а
с четвертой –
приборным щитком. В рабочем состоянии установка опирается
на домкратные винты 5. Регуляторы температуры РЕПИД-1
смонтированы на выдвижных шасси, что облегчает их
обслуживание. Каждая нагревательная камера состоит из
цилиндрической трубы с нагревательным элементом и
теплоизоляцией, каркаса, основания с направляющими, боковых
и торцовых крышек. Вводы термопар расположены сбоку.
Витки нагревательного элемента
спирального типа из прово-
локи ОХ27Ю5А диаметром 5 мм разделены керамическими
изоляторами. Схема авторегулирования температуры печи
СДО-125/4 включает резистор температуры РЕПИД-1, силовой
блок питания БПС-01 и объект регулирования – термическую
камеру. Анализ взаимосвязи отдельных звеньев системы авто-
матического регулирования температуры печей наилучшим
образом может быть проведен по ее упрощенной структурной
схеме
, представленной на рис.П1.2.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 37
- 38
- 39
- 40
- 41
- …
- следующая ›
- последняя »
