ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
38
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
( ко 2-му разделу)
1. Коледов Л. А. Технология и конструкции микросхем,
микропроцессоров и микросборок. Учебник. М.: Радио и связь,
1989. 400с.
2. Парфенов О. Д. Технология микросхем. М.:Высш.
школа, 1986. 320с.
3. Новиков В. В. Теоретические основы микро-
электроники. Учебное пособие. М.: Высшая школа, 1972. 352с.
4. Павлов Л. П. Методы определения основных парамет
-
ров полупроводников. М.: Высшая школа , 1975. 206с.
5. Зи. С. Технология СБИС в 2-х книгах. М.: Мир, 1986.
453с.
6 Ферри Д. , Эйкерс Л. , Гринич Э. Технология ультра-
больших интегральных схем. М.: Мир, 1991. 327с.
ПРИЛОЖЕНИЯ К РАБОТЕ № 2
П1.Описание диффузионной печи СДО-125/4
Для изготовления интегральных схем с воспроизводимыми и
стабильными параметрами необходимо, чтобы в диффузионных
и окислительных установках по всей рабочей длине канала печи
в течение длительного времени поддерживалась с высокой
степенью точности заданная температура. В современном
оборудовании температура поддерживается с точностью до
±0,5
0
С при длине рабочего канала 300 – 400 мм, что
обеспечивается автоматической системой терморегулирования.
Диффузию проводят в одно-, двух- и многозонных
установках. Промышленностью выпускаются однозонные уста-
новки с четырьмя рабочими каналами и двухзонные однока-
нальные установки. Модифицированная диффузионная
установка СДО-125/4–12 снабжена газораспределительной
камерой и камерой загрузки. Ознакомившись с одной из них,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 36
- 37
- 38
- 39
- 40
- …
- следующая ›
- последняя »
