Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 36 стр.

UptoLike

36
- сравнить полученные данные с теоретически рассчи-
танным профилем.
2. 6. КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ ДЛЯ ДОПУСКА К
ЛАБОРАТОРНОЙ РАБОТЕ
1.
Техника безопасности при работе с установкой для
диффузионного легирования.
2.
Техника безапасности при работе с кислотами и
щелочами.
3.
Техника безопасности при проведении диффузии.
4.
Техника безопасности при операциях загрузки и
выгрузки легируемых образцов.
5.
Объяснить принцип работы установки, предназначенной
для диффузионного легирования.
6.
Объяснить цель, задачи, метод диффузионного леги-
рования. Последовательность операций, необходимых для
проведения процесса диффузионного легирования.
2. 7. СОДЕРЖАНИЯ ОТЧЕТА
1. Цель лабораторной работы.
2.
Краткое описание методов проведения диффузии и
методик измерения параметров диффузионных слоев.
3.
Схемы электрическая структурная автоматической
системы регулирования и поддержания температуры или
газовой системы диффузионной печи.
4.
Технологическая карта проведения диффузии бора или
фосфора.
5.
Результаты измерений, сведенные в таблицу, график
распределения примеси после разгонки.
6.
Выводы, в которых приводится сравнение практических
результатов с расчетными, а также дается обоснование
возможных причин несовпадения результатов с расчетными.