Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 34 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

34
- промыть пластину в деионизованной воде;
-
поместить пластину в раствор плавиковой кислоты HF
(10%) ;
-
промыть пластину в деионизованной воде;
IV – этап
-
повторить все четыре этапа еще 3 раза.
2.5.1.3. Провести диффузию бора из пленки, полученной из
пленко-образующих растворов, если выдан кремний n-типа или
диффузию фосфора в кремний р-типа. Для этого:
-
нанести несколько капель пленкообразующего раствора,
содержащего примесь бора или фосфора на поверхность плас-
тин (все операции по подготовке пленкообразующих растворов
готовятся инженером до выполнения работы), (см. приложение
2 );
-
поместить пластины на держатель центрифуги, включить и
выдержать 10 – 20 сек.; выполнить эту операцию поочередно
для каждой пластины;
-
снять пластину с держателя центрифуги и поместить в
кварцевую кассету;
-
поместить кварцевую кассету в кварцевый контейнер;
-
медленно ввести контейнер с кварцевой кассетой в высо-
котемпературную зону печи СДО-125/4 и выдержать в среде
азота (расход 60 л/ч ) заданное преподавателем время или
рассчитанное в лабораторной работе 1 (при этом выполняется
операция «загонки» примеси);
-
медленно вывести контейнер из высокотемпературной
зоны и охлаждить пластины до комнатной температы ;
-
обработать кремниевые пластины в плавиковой кислоте до
полного удаления боросиликатного или фосфорносиликатного
стекол;
-
определить толщину диффузионного слоя и измерить
поверхностное сопротивление после загонки (см. приложение 3
и 4 ), по графику Ирвина (находится на каждом рабочем месте)
определить поверхностную концентрацию примеси;

Страницы