Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 33 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

33
2. 5. ЛАБОРАТОРНОЕ ЗАДАНИЕ
1. В три кремниевые пластины n- или p-типа провести
диффузию (операции загонки и разгонки) примеси бора или
фосфора.
2.
Определить толщину диффузионного слоя, измерить
удельную поверхностную электрическую проводимость.
3.
Сравнить полученные результаты с расчетными значе-
ниями, полученными в работе 1.
2. 5. 1. Порядок выполнения лабораторного задания
Получив у лаборанта кремниевые пластины, провести диф-
фузию бора или фосфора в следующей последовательности.
2.5.1.1. Установить температуру печи 1150
0
С в одном кана-
ле и 1200
0
С в другом (см. прил.3). Установка режима работы пе-
чи выполняется инженером.
2.5.1.2. Провести четырехэтапную очистку кремниевых
пластин. Для этого:
I – этап
-
поместить пластину кремния на 15 мин. в раствор
4222
: SOHOH (1:1);
-
промыть пластину в деионизированной воде;
-
поместить пластину в раствор плавиковой кислоты HF
(10%);
-
промыть пластину в деионизированной воде;
II – этап
-
поместить пластину в раствор H
2
O
2
: NH
4
OH (10:3) и
прокипятить 15 мин.;
-
промыть пластину в деионизованной воде;
-
поместить пластину в раствор плавиковой кислоты HF
(10%) ;
-
промыть пластину в деионизованной воде;
III – этап
-
поместить пластину в раствор H
2
O
2
: HCl (10:3) и проки-
пятить 15 мин. ;

Страницы