ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
31
O
2
4
N
2
1
3
2
5
Рис.2.3
2. 3. 3. Основные диффузанты
В технологии изготовления ИМС наиболее широко исполь-
зуются твердые, жидкие и газообразные диффузанты.
Твердые диффузанты: безводная пятиокись фосфора или
фосфорный ангидрид – Р
2
О
5
; нитрид фосфора – P
3
N
5
; одно-
основный фосфат аммония – NH
4
H
2
PO
4
; двухосновный фосфат
аммония – (NH
4
)
2
HPO
4
; борный ангидрид – В
2
О
3
.
Жидкие диффузанты: оксихлорид фосфора – POCl
3
; три-
хлорид фосфора – PCl
3
; пентафторид фосфора – РF
5
; трех-
бромистый бор – BBr
3
.
Газообразные диффузанты: фосфин – PH
3
; трехлористый
бор – BCl
3
; диборан – В
2
Н
6
.
2. 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
2. 4. 1. Применяемые материалы
1. Перекись водорода.
2.
Спирт этиловый ректификованный.
3.
Пластины кремниевые n- или р-типа.
4.
Кислота серная.
5.
Вода деионизованная.
6.
Кислота азотная.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 29
- 30
- 31
- 32
- 33
- …
- следующая ›
- последняя »
