ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
30
изменением содержания гидридов в инертном газе. Недостаток
метода – в токсичности газообразных источников.
Диффузия из жидких источников (рис. 2.2,в ) имеет преи-
мущества перед диффузией из твердых источников, так как
установка имеет одну высокотемпературную зону. Для испа-
рения жидкого источника примеси достаточно поддерживать
его температуру в интервале 20 – 40
0
С. Наиболее широкое
применение нашли галогениды бора и фосфора, в частности,
трехлористый фосфор PCl
3
, хлорокись фосфора POCl
3
и
трехбромистый бор BBr
3.
В кварцевую трубу направляются три
потока газа: основной поток азота ( или аргона ), слабый поток
такого же газа, предварительно прошедший через жидкий ис-
точник, и слабый поток кислорода. Кислород необходим для
образования окислов примеси. Недостатком диффузии из жид-
ких источников является то, что и сами источники и продукты
реакций являются отравляющими веществами
.
В связи с переходом технологии изготовления интег-
ральных микросхем на подложки диаметром более 100 мм из-за
нарушения газодинамики между пластинами усилился разброс
электрофизических параметров легированных слоев по диа-
метру пластин, что привело к снижению процента выхода год-
ных ИМС. Для устранения этого эффекта в настоящее время
разработаны процессы диффузии бора
и фосфора с исполь-
зованием твердых планарных источников. Схема установки
показана на рис. 2.3, где 1 – трубчатая печь; 2 – кварцевая
труба; 3 – кварцевая лодочка; 4 – пористая кварцевая пластина,
насыщенная бором или фосфором; 5 – полупроводниковая
пластина.
Благодаря тому, что полупроводниковые пластины поме-
щаются между источниками диффузанта, удалось значительно
снизить разброс поверхностного сопротивления и глубину зале-
гания р – n –
переходов.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 28
- 29
- 30
- 31
- 32
- …
- следующая ›
- последняя »
