Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 28 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

28
2.3. 2. Диффузия в потоке газа-носителя (диффузия по
способу открытой трубы)
По этому способу пластины кремния подвергаются
высокотемпературной обработке в потоке инертного газа, несу-
щего пар примеси. При этом в качестве источников диффу-
зантов могут использоваться твердые, жидкие и газообразные
вещества. Схемы установок для диффузии в потоке газа-носи-
теля для твердых, жидких и газообразных источников примеси
представлены на рис. 2.2, где 1,2 –
трубчатые печи; 3 –
кварцевая труба; 4 – кварцевая лодочка с пластинами кремния;
5 – твердый источник примеси; 6 – газовые потоки; 7 – сосуд с
жидким источником примеси (испаритель).
6
1
2
3
4
5
N
2
N
2
O
2
PH A
3 + 2
4
3
1
N
2
N
2
O
2
7
4
3
1
а)
б)
в)
1
Рис.2.2

Страницы