ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
29
При использовании твердых источников примеси установка
состоит из открытой кварцевой трубы, проходящей через две
трубчатые печи с независимой регулировкой температуры,
обеспечивающие две зоны постоянной температуры и плавное
монотонное изменение температуры от первой зоны ко второй.
В одну зону помещаются пластины кремния, в другую – ис-
точник примеси. Диапазон рабочих температур составляет
в
зоне источника примеси 400 – 1000
0
С, в зоне диффузии 1000 –
1250
0
С. Через трубу пропускается поток газа, основной функ-
цией которого является перенос испаряющихся молекул источ-
ника примеси в зону диффузии. Обычно используют азот, аргон,
иногда газы с примесями кислорода или водорода. В зоне
диффузии происходят химические реакции, приводящие к
образо-ванию элементарной примеси и двуокиси кремния.
Продукты реакции, а также сплав
SiO
2
с окислом примеси
создают стек-лообразные слои на поверхности кремния,
которые становятся источником примеси.
Поверхностная концентрация примеси при диффузии в
двухзонных печах зависит от температуры источника, его насы-
щенности водяными парами, состава газа-носителя, скорости и
характера его потока. Присутствие воды в источнике увели-
чивает разброс поверхностной концентрации примеси, что
является основным недостатком диффузии из твердых источ-
ников диффузантов.
В качестве газообразных источников используют обычно
гидриды примесей, например, фосфин РН
з
, диборан В
2
Н
6
,
арсин AsH
3
. При диффузии из фосфина в качестве газа-носителя
может использоваться смесь PH
3
, Ar и О
2
(рис. 2.2,б ). В
атмосфере реакционной камеры происходит разложение фос-
фина при температурах выше 440
0
С и образование фосфорного
ангидрида. Преимуществом диффузии из газообразных источ-
ников является возможность достаточно просто регулировать
поверхностную концентрацию примеси в широких пределах
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 27
- 28
- 29
- 30
- 31
- …
- следующая ›
- последняя »
