ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
42
управляют включением и отключением блока питания 8
нагревательных элементов. При выходе температуры из
допустимых пределов включается цепь сигнализации. Не-
смотря на автоматическую систему регулирования установки,
перед каждым очередным процессом контролируют как темпе-
ратуру, так и положение зон одинаковой температуры, Поль-
зуясь контрольной термопарой и потенциометром постоянного
тока ПП-63. Это необходимо сделать во избежание случайного
брака.
Для проверки температуры по длине рабочего канала на
контрольной
термопаре должны быть нанесены соот-
ветствующие деления. Вводя термопару в рабочий канал на
небольшую длину, выполняют первый замер температуры.
Затем, продвигая термопару, устанавливают распределение
температуры по длине канала. Начало и конец требуемой зоны
отмечают на стержне термопары и фиксируют по наружной
линейке с движками, расположенной вдоль нагревательной
камеры. Если обнаружится,
что температура не соответствует
заданной, ее необходимо отрегулировать задатчиком. Затем
контрольные измерения повторяют. Все измерения выполняют
только при установившемся режиме работы установки.
Термические установки такого типа оборудуют газовыми
системами, обеспечивающими процессы окисления и
легирования полупроводника Для окисления пластины во
влажном кислороде кислород направляют через ротаметр 6 в
увлажнитель 7 с дистиллированной водой, подогреваемой
электроплиткой 8. Обогащенный парами воды кислород
поступает в рабочий канал 2 установки 1 через вентиль 4.. Одна
из таких систем показана на рис. П1.4 Температура воды в
увлажнителе поддерживается автоматически. При
одновременных процессах диффузии и окисления кислород
направляют в установку прямо через питатель 5 с жидким
диффузантом..
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 40
- 41
- 42
- 43
- 44
- …
- следующая ›
- последняя »
