Математическое моделирование технологических процессов и ИМС. Тамаров В.А. - 8 стр.

UptoLike

Составители: 

РПД МЭ ЕНВО1-2002
Пензенский государственный университет
Факультет радиоэлектроники
Кафедра «Микроэлектроника»
Система методического обеспечения учебного процесса
Рабочая программа
дисциплины «Математическое моделирование
технологических процессов и ИМС»
по программе подготовки инженерафизикамикроэлектронщика
по направлению 010000 – Электроника и микроэлектроника
специальности 014100 – Микроэлектроника и полупроводниковые приборы
Пенза 2002
                                                 РПД МЭ ЕНВО1-2002

          Пензенский государственный университет

                 Факультет радиоэлектроники

                Кафедра «Микроэлектроника»




   Система методического обеспечения учебного процесса


                        Рабочая программа
           дисциплины «Математическое моделирование
                технологических процессов и ИМС»
   по программе подготовки инженера – физика – микроэлектронщика
       по направлению 010000 – Электроника и микроэлектроника
специальности 014100 – Микроэлектроника и полупроводниковые приборы




                            Пенза 2002