Промышленные технологии и инновации. Оборудование для наноиндустрии и технология его изготовления. Ткачев А.Г - 23 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

Рис. 19. Схема реактора:
1
– корпус;
2
– экран;
3
– нагревательный элемент;
4
– диск-подложка;
5
– корпус камеры осаждения;
6
– слой катализатора;
7
– газораспределитель;
8
– штуцер отвода продуктов пиролиза;
9
– штуцер подвода углеродсодержащих газов;
10
–
распылитель катализатора;
11
– скребок;
12
– сборник продукта
8
3
2
1
4
6
7
11
4
12
5
6
10
9
катализатор
Н
А
А
Н
2
+ С
х
Н
y
С
Н
y

Страницы