ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
3
Содержание
Введение ………………………………………………………………....... 4
1. Адсобция газов на оксидных полупроводниках ……………………. 5
2. Механизмы чувствительности допированных сенсоров ………….. 11
2.1. Химический механизм сенсибилизации ………………………… 11
2.2. Электронный механизм сенсибилизации ……………………….. 14
3. Исследования полупроводниковых сенсоров на переменном токе..16
4. Граница раздела металл-полупроводник …………………………… 19
Вопросы для самоконтроля …………………………………………….. 23
Литература ………………………………………………………………. 23
3
С оде ржание
В ве дени е … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ....... 4
1. Адсобци я газов на ок си дны х п ол упроводни к ах … … … … … … … … . 5
2. М е хани змы чувстви те л ьности допи рованны х се нсоров … … … … .. 11
2.1. Х и ми че ск и й ме хани зм се нси би л и заци и … … … … … … … … … … 11
2.2. Э л е к тронны й ме хани зм се нси би л и заци и … … … … … … … … … .. 14
3. И ссл е довани я пол упроводни к овы х се нсоров на пе ре ме нном ток е ..16
4. Г рани ца раздел а ме тал л -пол уп роводни к … … … … … … … … … … … 19
В опросы дл я самок онтрол я … … … … … … … … … … … … … … … … … .. 23
Л и те ратура … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … . 23
