Сенсоры измерительно-информационных систем. Часть 1. Тутов Е.А - 4 стр.

                                                4
     Вве де ние

       О к си дны е пол уп роводни к овы е мате ри ал ы ш и рок о и сп ол ьзую тся в
те хни к е , наук е и те хнол оги и бл агодаря свои м разнообразны м, часто
уни к ал ьны ми свойствам. Т е рмоди нами че ск ая стаби л ьность в разл и чны х
сре дах        соче тае тся        в       ни х       с     се гне тоэл е к три че ск и ми , ф ото-,
пье зочувстви те л ьны ми ,                 эл е к трохромны ми ,              све рхпроводящ и ми ,
к атал и ти че ск и ми и други ми свой ствами , что позвол яе т и спол ьзовать эти
мате ри ал ы в к аче стве ак ти вны х эл е ме нтов датчи к ов и пре образовате л е й.
       Н астоящ е е пособи е посвящ е но и зл оже ни ю ре зул ьтатов и ссл е довани й
эл е к троф и зи че ск и х свойств ок си дны х пол упроводни к овы х мате ри ал ов,
к оторы е и спол ьзую тся в к аче стве газочувстви те л ьны х се нсоров. Ак ти вны е
научны е и те хнол оги че ск и е разработк и , связанны е с разл и чны ми газовы ми
датчи к ами , сти мул и рую тся п отре бностями эк ол оги че ск ого мони тори нга,
к онтрол я те хнол оги че ск и х проце ссов, анал и ти че ск ого обе спе че ни я те хни к и
бе зопасности и т.д.
       Чувстви те л ьность и други е харак те ри сти к и се нсоров зави сят от ф и зи к о-
хи ми че ск ой п ри роды адсорби руе мы х части ц и от свойств пол упроводни к а.
С войствами пол упроводни к а можно управл ять, напри ме р, с помощ ью
нане се нны х на пове рхность ул ьтради спе рсны х ме тал л и че ск и х части ц, к оторы е
и зме няю т к ак          эл е к троф и зи че ск и е , так      и    к атал и ти че ск и е свойства
пол упроводни к а.
       С е нсорны е свойства п ове рхностно-допи рованны х образцов опи сы ваю тся
ме хани змами т.н. хи ми че ск ой и эл е к тронной се нси би л и заци и . Д е тал и эти х
двух ме хани змов, а так же и х относи те л ьны й вк л ад в к аждой к онк ре тной
си сте ме пол упроводни к - допи рую щ и й ме тал л - газ остаю тся не достаточно
и ссл е дованны ми . О сновная пробл е ма зак л ю чае тся в разде л е ни и эти х
ме хани змов. И хи ми че ск и й и эл е к тронны й ме хани зм оди нак ово вл и яю т на
эл е к тропроводность допи рованны х се нсоров на постоянном ток е . Разл и чная
при рода ме хани змов чувстви те л ьности може т п рояви ться при и ссл е довани и
допи рованны х образцов на пе ре ме нном ток е . Э та ме тоди к а позвол яе т
и ссл е довать пространстве нное распре дел е ни е заряже нны х обл асте й в
пол упроводни к е , раздел ять разл и чны е ме хани змы ток опе ре носа по вре ме нны м
параме трам и т.д.
       Работа вы хода эл е к трона наноразме рны х ме тал л и че ск и х части ц може т
сущ е стве нно и зме няться под де йстви е м адсорбци и газов, модул и руя
пове рхностны й поте нци ал обл асти пол упроводни к а, к оторая распол оже на под
ме тал л и че ск ой части це й. Т ак и м образом, анал и з ф унк ци онал ьной ре ак ци и
пове рхностно-допи рованны х                      ок си дны х         пол уп роводни к ов        на
адсорбци ю /десорбци ю             разл и чны х газов дае т возможность и зуче ни я
эл е к тронны х проце ссов п ри взаи модействи и газ – тве рдое те л о.



     1. А дсорбция г аз ов на оксидных полупроводниках