Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике: Опорный конспект лекций. Вейко В.П.

UptoLike

Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике: Опорный конспект лекций. Вейко В.П.

РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое: 

Составители: 

Формат файла: 

PDF

Ключевые слова: 

  • лекция
  • курс лекций

Год: 

  • 2011

Количество страниц: 

141
Опорный конспект лекций для бакалавров и магистров направлений 200500 "Лазерная техника и лазерные технологии", 200200 "Оптотехника", 223200 "Техническая физика", 200700 "Фотоника и оптоинформатика", 200100 "Приборостроение", а также для студентов специальностей 200201 "Лазерная техника и лазерные технологии", 210401 "Физика и техника оптической связи". Курс также может быть полезен инженерам, ученым, менеджерам, которые интересуются применением лазерных технологий в микроэлектронике, для понимания преимуществ и ограничений использования лазеров в этой области, для расширения и углубления их знаний в области процессов лазерной обработки.

Рекомендуемые учебно-методические материалы

Вейко В.П.
Вейко В.П. Опорный конспект лекций "Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике". - СПб: НИУ ИТМО, 2011. - 141 с.
Гатчин Ю.А., Ткалич В.Л., Виволанцев А.С., Дудников Е.А.
Гатчин Ю.А., Ткалич В.Л., Виволанцев А.С., Дудников Е.А. Введение в микроэлектронику: Учебное пособие. - СПб: СПбГУ ИТМО, 2010. - 114 с.
Ткалич В.Л., Макеева А.В., Оборина Е.Е.
Ткалич В.Л., Макеева А.В., Оборина Е.Е. Физические основы наноэлектроники: Учебное пособие. - СПб.: СПбГУ ИТМО, 2011. - 83 с.