Получение тонких пленок сложного состава методом испарения и конденсации в вакууме. Юраков Ю.А. - 6 стр.

UptoLike

Составители: 

6
где A образует отдельную фазу. На примере Ag
2
S, Ag
2
Se, CuI была изучена
кинетика реакции разложения. Процессу испарения предшествует образо-
вание молекул B
2
в адсорбированном состоянии, атомы металла при этом
образуют зародыши и кристаллы. Аналогичная картина наблюдается для
большинства боридов, карбидов и нитридов металлов.
Другим весьма важным семейством веществ, испарению которых
предшествует разложение, являются соединения A
III
B
V
. Разложение этих
соединений можно представить в общем виде так:
n
1
AB(
т)=A(ж)+B(г)
n
, (7)
где n = 2, 4. Необходимое для эффективного испарения давление 10
–2
мм рт. ст.
паров сравнительно летучих элементов пятой группы (P, As, Sb) достига-
ется при температурах от 700 до 900 °С. В этом диапазоне температур ме-
таллы третьей группы (Al, Ga, In) находятся в расплавленном виде, но дав-
ление их паров на несколько порядков ниже по сравнению с элементами
пятой группы. Следовательно, пары этих веществ содержат преимущест-
венно молекулы из атомов пятой группы и не содержат или содержат в не-
достаточном для получения стехиометрического соединения количестве
атомы металла.
Механизм испарения сплавов
Составляющие сплавов испаряются подобно чистым металлам неза-
висимо друг от друга преимущественно в виде отдельных атомов. В то же
время давление пара составляющих компонентов существенно отличается
от давления пара чистого элемента при той же температуре. Это является
следствием изменения химического потенциала металла при его растворе-
нии в другом металле, что выражается законом Рауля. В соответствии с за-
коном Рауля давление составляющей над идеальным твердым раствором
P
B
снижается пропорционально молярной концентрации X
B
.
*
BBB
P=XP
, (8)
где
*
B
термодинамически равновесное давление. Большинство сплавов
не являются идеальными твердыми растворами, т. е. в них энергия взаимо-
действия между двумя различными составляющими не равна энергии
взаимодействия между чистыми элементами. Для описания поведения ре-
ального твердого раствора вводится понятие активности a
B
, которая опре-
деляется как отношение реального давления пара P
B
и термодинамически
равновесного
*
B