Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 104 стр.

                              104

ческих материалов типа кварца, ниобата лития и других обеспечи-
вают высокоточное перемещение без нелинейности и гистерезиса.
     Передача линейного размера от эталона в измерительный
прибор производится путем управляемого перемещения поверх-
ности эталона на заданное расстояние и измерения данного пе-
ремещения в аттестуемой установке. Определение динамических
характеристик выполняется при подаче импульсного управляю-
щего напряжения на эталон и измерении переходной характери-
стики измеряющей системы(рис.43).




Рис.43. Фотография лабораторной установки в составе ноутбука,
цифрового вольтметра, блока питания с регулируемым выходным
 напряжением, линейного оптического интерферометра с субна-
                  нометровым разрешением
     Наноэталон предназначен для передачи линейных размеров в
нанометровом диапазоне с разрешающей способностью в сотые,
вплоть до тысячных долей нанометра (пикометров) и измерения
быстродействия следящих систем сканирующих зондовых микро-
скопов и интерферометров.
     Основные области применения: зондовая и электронная мик-
роскопия, оптическая интерферометрия, химометрия, наноэлектро-
ника, нанооптика, наномеханика, - для проведения высокоточных
измерений в нанометровом диапазоне и создания устройств на ос-