Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 105 стр.

                             105

нове квантоворазмерных эффектов, тестирования динамических ха-
рактеристик систем стабилизации положения зондов и измеритель-
ных систем на основе интерферометров.
                                                 Зеркало




     Рис 44. Конструкция и внешний вид наноэталона.




 Рис.45.Применение наноэталонов в интерферометре а, б – пере-
              дача линейных размеров по оси Z

     Эталон обеспечивает высокую устойчивость к внешним
воздействиям и может использоваться в обычных лабораторных
условиях.
     Эталон представляет собой образец, закрепляемый в тести-
руемом оборудовании.
     Выпускаются эталоны 2-х типов - обеспечивающие пере-
мещение по нормали и по горизонтали к поверхности.
     Управление перемещением наноэталона осуществляется от