Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 26 стр.

                                26

                  Библиографический список
      1.Коровин Н.В. Общая химия: Учебник для технических на-
прав. и спец. вузов. – М.: Высш. школа, 1998. – 559 с., ил. §§ 9.1,
9.2, 9.4, 9.7, 11.6.
      2.Харин А.Н., Катаева Н.А., Харина Л.Т. Курс химии: Учеб-
ник для приборостроит. спец. вузов / Под ред. А.Н. Харина. – 2-е
изд., перераб. и доп. – М.: Высш. школа, 1983. – 511 с., ил. Глава
VIII (§§1-8), глава V (§2).
                     Контрольные вопросы
     1.Запишите реакцию образования оксида алюминия при анод-
ном травлении.
     2.Какова роль кислоты при анодном травлении? Чем опреде-
ляется тип кислоты для анодного травления алюминия?
     3.Какие типы оксидов могут образовываться при анодном
травлении? От каких параметров зависит тип образующегося ок-
сида?
     4.Что такое коэффициент объемного увеличения при форми-
ровании оксида? От чего он зависит?
     5.С какой целью проводят охлаждение электролита? Чем оп-
ределяется оптимальная температура травления?
     6.Как влияет на процесс анодного травления увеличение
плотности тока?
     7.Изобразите качественно процесс формирования упорядо-
ченной пористой структуры.
     8.Как подготавливается поверхность для анодного травления?
Каковы требования на шероховатость? Какова роль отжига?
     9.С какой целью применяют двухстадийное травление?
     10.Опишите методику двухстадийного травления, применяе-
мого в данной работе? Какие химические реактивы используются
для каждой операции?
     11.Изобразите устройство электрохимической ячейки для
анодного травления и укажите роль отдельных ее частей
          Описание аппаратуры и метода измерений
     Современные тенденции развития микроэлектронной техники