Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 49 стр.

                               49

ждой точке из-за рельефа поверхности. Соответственно, текущее
значение сигнала «MAG» в каждой точке поверхности изменяется
относительно уровня «Set point». Это отклонение от «Set point» при
работе с обратной связью воспринимается, как сигнал ошибки. В
каждой точке поверхности система обратной связи при помощи
сканера перемещает зонд по нормали к поверхности таким обра-
зом, чтобы вернуть текущую величину «MAG» к значению «Set
point», т.е. текущую величину амплитуды колебаний кантилевера к
исходной величине. Одновременно, сигнал, пропорциональный
вертикальному перемещению сканера, подается на усилитель с ре-
гулируемым коэффициентом усиления. После усилителя сигнал
поступает на аналого-цифровой преобразователь и далее через ин-
терфейсную плату записывается в память компьютера, формируя
топографический образ поверхности образца.
      Подготовку прибора к работе в режиме АСМ можно разде-
лить на следующие основные операции:
-включение прибора, запуск программы управления;
-подготовка зонда (выбор и установка кантилевера);
-настройка лазера, настройка фотодиода (наведение лазерного
луча на кантилевер, установка максимального значения сигнала
«LASER», нулевых значений сигналов «DFL» и «LF»);
-подготовка и установка образца;
-установка СЗМ головки на блок подвода (установка, проверка
параллельности, начальный подвод образца).
                 Порядок выполнения работы
     Внимание! Строго запрещается при установке и замене кан-
тилевера использовать отвертку или другие подручные инструмен-
ты для отгиба зажима кантилевера. Это может привести к ослабле-
нию зажима кантилевера, что может вызвать некачественную рабо-
ту прибора.
     Cтрого запрещается помещать в место установки образца,
толстые подложки (толщина подложки должна не превышать 0.5
мм). Несоблюдения этого правила может привести к ослаблению
или поломки «клипса» держащего подложку.
     Категорически запрещается вручную подводить и отводить