Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 48 стр.

                              48

(RMS detector) или фазового детектора (Phase detector). Синхрон-
ный усилитель формирует на выходе три электрических сигнала:
«MAG»-сигнал, соответствующий амплитуде переменной состав-
ляющей сигнала «DFL» на частоте модуляции; «MAG*sin» - сиг-
нал, пропорциональный произведению амплитуды переменного
сигнала на частоте модуляции на синус сдвига фазы колебаний
кантилевера относительно опорного сигнала; «MAG*cos» - сигнал,
пропорциональный произведению амплитуды переменного сигнала
на частоте модуляции на косинус сдвига фазы колебаний кантиле-
вера относительно опорного сигнала. Выбор производится опера-
тором путем подключения соответствующего сигнала в цепь об-
ратной связи на графическом интерфейсе программного управле-
ния прибором.
      Использование сигнала «MAG» в качестве входного сигнала
системы обратной связи является более предпочтительным, по-
скольку в этом случае можно достичь более низкого уровня шумов
и, как следствие, получить более высокое разрешение, поскольку
используется синхронное детектирование.
      Работа прибора при измерении топографии поверхности в
«полуконтактном» режиме производится в режиме поддержания
постоянной амплитуды колебаний кантилевера, что обеспечивается
поддержанием постоянного уровня сигнала «MAG». Предполагает-
ся, что именно этот сигнал («MAG») выбран в качестве сигнала об-
ратной связи. Вначале, перед сканированием, оператор производит
подвод образца к зонду на расстояние, при котором острие канти-
левера начинает взаимодействовать с поверхностью. Оператор ус-
танавливает начальную величину «MAG» посредством установки
параметра «Set point».Тем самым он устанавливает определенную
величину амплитуды колебаний кантилевера и, соответственно,
определенный уровень взаимодействия острия и поверхности. Ус-
тановка и поддержание заданной величины «MAG», равной значе-
нию «Set point» происходит благодаря работе системы обратной
связи. Так как «MAG» является сигналом обратной связи, то при
включении обратной связи этот сигнал поддерживается равным па-
раметру «Set point», установленному оператором. При сканирова-
нии величина амплитуды колебаний кантилевера изменяется в ка-