Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 46 стр.

                              46

с этих сегментов. Сигналы предварительно обрабатываются (уси-
ливаются, складываются и вычитаются) и с выхода регистрирую-
щей системы поступают три сигнала:
- «DFL» - сигнал пропорциональный отклонению кантилевера в
вертикальном направлении. «DFL» является разностным сигна-
лом между верхней и нижней половинами фотодиода;
- «LF» - сигнал, пропорциональный боковому отклонению луча.
Регистрирующая система прибора позволяет измерять крутиль-
ную деформацию кантилевера, которую могут вызывать боковые
силы. Крутильная деформация смещает отраженный луч в боко-
вом направлении. «LF» является разностным сигналом между
правой и левой половинами фотодиода;
-«LASER» - сигнал пропорциональный суммарной интенсивно-
сти света, отраженного от кантилевера. «LASER» является сум-
марным сигналом от всех четырех сегментов фотодиода. Данный
сигнал используется при юстировке лазера.
      При сканировании пятно лазерного луча остаётся неподвиж-
ным относительно кантилевера, в то время как кантилевер закреп-
лен на подвижной части головки, а лазер на неподвижной части.
Это достигается благодаря использованию специально разработан-
ной оптической следящей системе.
      В СЗМ головке используется сканер, обеспечивающий мак-
симальное поле сканирования размером приблизительно 65 микрон
на 65 микрон. Сканер состоит из двух пьезотрубок разного диамет-
ра, вставленных одна в другую. Нижний конец большой трубки за-
креплен на головке, к верхнему концу крепится пьезотрубка,
имеющая меньший диаметр. К нижнему концу последней крепится
держатель кантилевера. Пьезотрубка меньшего диаметра обеспечи-
вает сканирование в плоскости образца, большего - перемещение
кантилевера по нормали.
      В режиме «полуконтактной» АСМ сканирование произво-
дится кантилевером, колеблющимся около поверхности образца.
Особенность состоит в том, что колеблющееся острие находится
настолько близко к поверхности, что оно слегка «стучит» по по-
верхности образца при сканировании, контактируя с поверхно-
стью в нижней части своего размаха. При этом большую часть