Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 45 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

45
временно при сканировании образца в каждой точке может регист-
рироваться изменение фазы колебаний кантилевера, которое запи-
сывается в виде распределения фазового контраста.
Сканирующий зондовый микроскоп Solver P47H и
методика измерения
СЗМ Solver P47H предназначен для количественных и качест-
венных измерений приповерхностных характеристик различных
объектов и сопутствующих им физических полей с разрешениями
вплоть до атомарных.
Одним из основных элементов прибора Solver P47H является
СЗМ головка, которая сама по себе является универсальным, мно-
гофункциональным СЗМ, наиболее важными элементами которого
являются зонд, система регистрации отклонения зонда, пьезоска-
нер, и система управления сканером.
Кроме СЗМ головки в состав прибора входит основание с
системой автоматического сближения зонда с поверхностью образ-
ца, оптическая система с микроскопом, виброзащитный столик,
электронный контроллер и компьютер.
Схема регистрации отклонений кантилевера основана на оп-
тической следящую системе типа «оптический рычаг». Регистри-
рующая система позволяет определять угловое отклонение канти-
левера с разрешением менее 0.1", что обеспечивает разрешение по
вертикали 0.05 нм. Регистрирующая система состоит из источника
излучения, позиционно-чувствительного фотоприемника и оптиче-
ской системы. Источником излучения является полупроводнико-
вый лазер с длиной волны 670 нм и мощностью 0.9 мВт. Позици-
онно-чувствительным фотоприемником является четырехсекцион-
ный фотодиод. Оптическая система состоит из фокусирующего
объектива, двух зеркал, зеркальной поверхности кантилевера и
линзы. Луч лазера фокусируется объективом в эллиптическое пят-
но размером ~50 микрон на обратной стороне кантилевера в районе
острия. Отраженный от кантилевера свет попадает на четырехсек-
ционный фотодиод. Отклонение кантилевера вызывает перемеще-
ние лазерного пятна относительно сегментов (см. рис. 11) фотодио-
да, что вызывает изменение электрических сигналов поступающих 
                               45

временно при сканировании образца в каждой точке может регист-
рироваться изменение фазы колебаний кантилевера, которое запи-
сывается в виде распределения фазового контраста.
       Сканирующий зондовый микроскоп Solver P47H и
                  методика измерения
      СЗМ Solver P47H предназначен для количественных и качест-
венных измерений приповерхностных характеристик различных
объектов и сопутствующих им физических полей с разрешениями
вплоть до атомарных.
      Одним из основных элементов прибора Solver P47H является
СЗМ головка, которая сама по себе является универсальным, мно-
гофункциональным СЗМ, наиболее важными элементами которого
являются зонд, система регистрации отклонения зонда, пьезоска-
нер, и система управления сканером.
      Кроме СЗМ головки в состав прибора входит основание с
системой автоматического сближения зонда с поверхностью образ-
ца, оптическая система с микроскопом, виброзащитный столик,
электронный контроллер и компьютер.
      Схема регистрации отклонений кантилевера основана на оп-
тической следящую системе типа «оптический рычаг». Регистри-
рующая система позволяет определять угловое отклонение канти-
левера с разрешением менее 0.1", что обеспечивает разрешение по
вертикали 0.05 нм. Регистрирующая система состоит из источника
излучения, позиционно-чувствительного фотоприемника и оптиче-
ской системы. Источником излучения является полупроводнико-
вый лазер с длиной волны 670 нм и мощностью 0.9 мВт. Позици-
онно-чувствительным фотоприемником является четырехсекцион-
ный фотодиод. Оптическая система состоит из фокусирующего
объектива, двух зеркал, зеркальной поверхности кантилевера и
линзы. Луч лазера фокусируется объективом в эллиптическое пят-
но размером ~50 микрон на обратной стороне кантилевера в районе
острия. Отраженный от кантилевера свет попадает на четырехсек-
ционный фотодиод. Отклонение кантилевера вызывает перемеще-
ние лазерного пятна относительно сегментов (см. рис. 11) фотодио-
да, что вызывает изменение электрических сигналов поступающих

Страницы