Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 43 стр.

                              43

сировалось на консоли зондового датчика, а отраженный пучок по-
падал в центр фоточувствительной области фотоприемника. В ка-
честве позиционно-чувствительных фотоприемников применяются
четырехсекционные полупроводниковые фотодиоды.




         Рис.11. Схема оптической регистрации изгиба
                консоли зондового датчика АСМ
      С точки зрения типа и степени взаимодействия режимы рабо-
ты АСМ можно разделить на контактный, бесконтактный и «полу-
контактный», который является промежуточным между контакт-
ным и бесконтактным. В контактном режиме острие зонда непо-
средственно контактирует с поверхностью образца в процессе ска-
нирования. Соответственно, в бесконтактном режиме острие зонда
непосредственно не контактирует с поверхностью, а в «полукон-
тактном» контактирует частично. Бесконтактный и полуконтакт-
ный режимы работы АСМ реализованы на основе использования
модуляционных методик.
      Существует три метода измерения топографии поверхности
при помощи атомно-силового микроскопа:
- контактная АСМ - измерение топографии поверхности в кон-
тактном режиме;
- бесконтактная АСМ - измерение топографии поверхности в
бесконтактном режиме, основанном на использовании вибраци-
онной методики;
- «полуконтактная» АСМ, называемая также «прерывисто-
контактной», которая соответствует измерению топографии по-
верхности на основе вибрационной методики, при которой ко-
леблющееся острие зонда слегка стучит по поверхности образца.