Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 41 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

41
ний с помощью файла коэффициентов коррекции, который созда-
ется при сканировании конкретным сканером тестовых структур с
хорошо известным рельефом.
Шумы аппаратуры (в основном это шумы высокочувстви-
тельных входных усилителей), нестабильности контакта зонд-
образец при сканировании, внешние акустические шумы и вибра-
ции, приводят к тому, что СЗМ изображения, наряду с полезной
информацией, имеют шумовую составляющую. Частично шумы
СЗМ изображений могут быть удалены программными средствами.
Основы атомно-силовой микроскопии
Принцип работы атомно-силового микроскопа (АСМ) осно-
ван на зондировании поверхности образца острой иглой, которая
сканирует вдоль плоскости образца. Острие находится на свобод-
ном конце кантилевера - гибкой пластины, закрепленной вторым
концом на сканере. Острие взаимодействует с поверхностью, сила
взаимодействия вызывает изменение механического состояния
кантилевера, например, заставляет кантилевер отклоняться. При
сканировании величина отклонения кантилевера от предварительно
установленного значения измеряется при помощи регистрирующей
системы. Сигнал, пропорциональный отклонению, поступает в сис-
тему управления сканером (исполнительным элементом на рис. 10).
В каждой сканируемой точке поверхности система обратной связи
при помощи сканера перемещает зонд по нормали к поверхности
таким образом, чтобы вернуть значение параметра взаимодействия
к предварительно установленной величине. Одновременно величи-
на перемещения зонда по нормали к поверхности записывается в
память компьютера и интерпретируется как рельеф образца.
Обычно в АСМ используются зонды кантилеверного типа.
Такой зонд состоит из гибкого кантилевера, острой иглы и подлож-
ки. Кантилевер является балкой, один конец которой закреплен, а
второй свободен. Острая игла находится на свободном конце кан-
тилевера. Кантилевер закреплен на твердой подложке, которая
вставляется в держатель зонда. Острие обычно имеет радиус кри-
визны окло 10 нм и длину 3 – 15 микрон. Чем меньше радиус кри-
визны, тем большее разрешение может быть получено. Большинст-
                              41

ний с помощью файла коэффициентов коррекции, который созда-
ется при сканировании конкретным сканером тестовых структур с
хорошо известным рельефом.
     Шумы аппаратуры (в основном это шумы высокочувстви-
тельных входных усилителей), нестабильности контакта зонд-
образец при сканировании, внешние акустические шумы и вибра-
ции, приводят к тому, что СЗМ изображения, наряду с полезной
информацией, имеют шумовую составляющую. Частично шумы
СЗМ изображений могут быть удалены программными средствами.
            Основы атомно-силовой микроскопии
     Принцип работы атомно-силового микроскопа (АСМ) осно-
ван на зондировании поверхности образца острой иглой, которая
сканирует вдоль плоскости образца. Острие находится на свобод-
ном конце кантилевера - гибкой пластины, закрепленной вторым
концом на сканере. Острие взаимодействует с поверхностью, сила
взаимодействия вызывает изменение механического состояния
кантилевера, например, заставляет кантилевер отклоняться. При
сканировании величина отклонения кантилевера от предварительно
установленного значения измеряется при помощи регистрирующей
системы. Сигнал, пропорциональный отклонению, поступает в сис-
тему управления сканером (исполнительным элементом на рис. 10).
В каждой сканируемой точке поверхности система обратной связи
при помощи сканера перемещает зонд по нормали к поверхности
таким образом, чтобы вернуть значение параметра взаимодействия
к предварительно установленной величине. Одновременно величи-
на перемещения зонда по нормали к поверхности записывается в
память компьютера и интерпретируется как рельеф образца.
     Обычно в АСМ используются зонды кантилеверного типа.
Такой зонд состоит из гибкого кантилевера, острой иглы и подлож-
ки. Кантилевер является балкой, один конец которой закреплен, а
второй свободен. Острая игла находится на свободном конце кан-
тилевера. Кантилевер закреплен на твердой подложке, которая
вставляется в держатель зонда. Острие обычно имеет радиус кри-
визны окло 10 нм и длину 3 – 15 микрон. Чем меньше радиус кри-
визны, тем большее разрешение может быть получено. Большинст-

Страницы