Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 40 стр.

                                40

        Как правило, СЗМ изображения содержат постоянную со-
ставляющую, которая не несет полезной информации о рельефе
поверхности, а отражает точность подвода образца в середину ди-
намического диапазона перемещений сканера по оси Z . Постоян-
ная составляющая удаляется из СЗМ кадра программным спосо-
бом. Изображения поверхности, получаемые с помощью СЗМ, как
правило, имеют общий наклон. Это может быть обусловлено не-
сколькими причинами. Во-первых, наклон может появляться
вследствие неточной установки образца относительно зонда; во-
вторых, он может быть связан с температурным дрейфом, который
приводит к смещению зонда относительно образца; в-третьих, он
может быть обусловлен нелинейностью перемещений пьезоскане-
ра. На отображение наклона тратится большой объем полезного
пространства в СЗМ кадре, так что становятся не видны мелкие де-
тали изображения. Для устранения данного недостатка производят
операцию вычитания постоянного наклона. Неидеальность свойств
пьезосканера приводит к тому, что СЗМ изображение содержит ряд
специфических искажений. Частично неидеальности сканера, такие
как неравноправность прямого и обратного хода сканера (гистере-
зис), крип и нелинейность пьезокерамики компенсируются аппа-
ратными средствами и выбором оптимальных режимов сканирова-
ния. Однако, несмотря на это, СЗМ изображения содержат искаже-
ния, которые трудно устранить на аппаратном уровне. В частности,
поскольку движение сканера в плоскости образца влияет на поло-
жение зонда над поверхностью (по оси Z ), СЗМ изображения
представляют собой суперпозицию реального рельефа и некоторой
поверхности второго (а часто и более высокого) порядка. Для уст-
ранения искажений такого рода методом наименьших квадратов
находится аппроксимирующая поверхность второго порядка,
имеющая минимальные отклонения от исходной функции
Z = f ( x, y ) , и затем данная поверхность вычитается из исходного
СЗМ изображения. Еще один тип искажений связан с нелинейно-
стью и неортогональностью перемещений сканера в плоскости
 X , Y . Это приводит к искажению геометрических пропорций в
различных частях СЗМ изображения поверхности. Для устранения
таких искажений производят процедуру коррекции СЗМ изображе-